東京エレクトロングループは、東京エレクトロンと28社の関係会社（子会社や関連会社など）で構成される（2022年3月時点）。※子会社と関連会社の違いはコチラ
東京エレクトロンの子会社
東京エレクトロンの子会社は下記の通り。議決権の（ ）内は間接所有割合で内数。
| 連結子会社 | 議決権（%） |
| 東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ㈱ | 100 |
| 東京エレクトロン九州㈱ | 100 |
| 東京エレクトロン宮城㈱ | 100 |
| 東京エレクトロンＦＥ㈱ | 100 |
| Tokyo ElectronAmerica, Inc. | 100.0（100.0） |
| Tokyo ElectronEurope Ltd. | 100 |
| Tokyo ElectronKorea Ltd. | 100 |
| Tokyo ElectronTaiwan Ltd. | 100 |
| Tokyo Electron（Shanghai） Ltd. | 100 |
| Tokyo ElectronSingapore Pte. Ltd. | 100 |
その他 16社
東京エレクトロンの関連会社
東京エレクトロンの関連会社は下記の通り。
| 関連会社 | 議決権（%） |
| 東京エレクトロンデバイス㈱ | 33.8 |