OBARA GROUPを中核とする企業グループは、OBARA GROUPと子会社27社で構成される（2022年9月時点）。※子会社と関連会社の違いはコチラ
OBARA GROUPの子会社
OBARA GROUPの子会社は次の通り。議決権の（ ）内は間接所有割合で内数。
| 連結子会社 | 議決権（%） |
| OBARA㈱ | 100.0 |
| 洋光産業㈱ | 100.0 |
| OBARA （NANJING） MACHINERY& ELECTRIC CO., LTD. | 100.0 |
| OBARA （SHANGHAI）CO.,LTD. | 100.0 |
| OBARA KOREA CORP. | 100.0 |
| A ONE TECH CO., LTD. | 100.0（100.0） |
| OBARA（THAILAND）CO.,LTD. | 91.5 |
| OBARA（MALAYSIA）SDN.BHD. | 100.0 |
| OBARA INDIA PVT LTD. | 100.0 |
| OBARA CORP. USA | 100.0 |
| OBARA MEXICO, S.DE R.L.DEC.V. | 100.0（99.0） |
| OBARA TECNOLOGIAS EPRODUTOS DE SOLDAGEM LTDA. | 100.0（0.0） |
| OBARA CORP. LTD. | 100.0 |
| OBARA SAS | 100.0 |
| LLC OBARA RUS | 100.0 |
| OBARA s.r.o. | 100.0 |
| スピードファム㈱ | 100.0 |
| スピードファム長野㈱ | 100.0（100.0） |
| スピードファムクリーンシステム㈱ | 100.0（100.0） |
| ㈱プレテック | 100.0 |
| SPEEDFAM MECHATRONICS（NANJING） LTD. | 100.0（100.0） |
| SPEEDFAM KOREA LTD. | 100.0（100.0） |
| ONSE INC. | 100.0（100.0） |
| SPEEDFAM INC. | 100.0（100.0） |
| SPEEDFAM（INDIA）PVT LTD. | 95.8（95.8） |
| SPEEDFAM CORP. | 100.0（100.0） |
| MELCHIORRE S.R.L. | 100.0（100.0） |